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一種高頻振動(dòng)加工裝置及環(huán)形拋光機(jī)制造方法及圖紙

來源：泰然健康網(wǎng) 時(shí)間：2024年12月22日 01:28

本實(shí)用新型專利技術(shù)涉及一種高頻振動(dòng)加工裝置，包括工件盤、固定架、高頻振動(dòng)器及工件把持架；工件盤中部開設(shè)有工件孔；固定架固定于工件盤上；高頻振動(dòng)器固定于固定架上；工件把持架與工件孔位置對應(yīng)，其頂端通過連接桿與高頻振動(dòng)器連接，其底端用于把持位于工件孔內(nèi)的光學(xué)元件。經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知，本實(shí)用新型專利技術(shù)公開提供了一種高頻振動(dòng)加工裝置，由于其在元件上方設(shè)置了高頻振動(dòng)器，在元件旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，帶動(dòng)元件進(jìn)行高頻振動(dòng)，從而提高了元件的材料去除效率；同時(shí)因?yàn)楦哳l振動(dòng)的存在，有利于去除元件表面的小尺寸波紋，增加了元件的拋光精度。本實(shí)用新型專利技術(shù)還提供了一種具有高頻振動(dòng)加工裝置的環(huán)形拋光機(jī)，提高了元件的拋光效率及拋光精度。

A High Frequency Vibration Machining Device and Ring Polishing Machine

The utility model relates to a high-frequency vibration processing device, which comprises a workpiece plate, a fixing frame, a high-frequency vibrator and a workpiece holder; a workpiece hole is arranged in the middle of the workpiece plate; a fixing frame is fixed on the workpiece plate; a high-frequency vibrator is fixed on the fixing frame; a workpiece holder corresponds to the position of the workpiece hole; the top of the workpiece holder is connected with the high-frequency vibrator through a connecting rod, and the bottom of the workpiece holder is used for holding Optical elements in workpiece hole. According to the above technical scheme, the utility model discloses a high-frequency vibration processing device. Because the high-frequency vibrator is arranged above the component, the high-frequency vibration of the component is driven while the component rotates, thereby improving the material removal efficiency of the component. At the same time, the existence of high-frequency vibration is conducive to the removal of small-scale ripples on the surface of the component and increasing the material removal efficiency. Polishing accuracy of added components. The utility model also provides an annular polishing machine with a high frequency vibration processing device, which improves the polishing efficiency and precision of components.

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種高頻振動(dòng)加工裝置及環(huán)形拋光機(jī)
本技術(shù)涉及光學(xué)元件加工
，更具體的說是涉及一種高頻振動(dòng)加工裝置及環(huán)形拋光機(jī)。
技術(shù)介紹
環(huán)形拋光是加工大口徑平面光學(xué)元件的關(guān)鍵技術(shù)之一。環(huán)形拋光機(jī)床通常采用大尺寸、高熱穩(wěn)定性的天然花崗巖制成拋光盤基盤，基盤表面澆制環(huán)形的瀝青膠層作為拋光盤。瀝青拋光盤的環(huán)帶表面依次放有修正盤和工件盤，其中修正盤用于修正和控制拋光盤的形狀誤差，而工件盤則用于把持元件。加工時(shí)拋光盤、修正盤、工件盤均以一定的轉(zhuǎn)速繞逆時(shí)針方向勻速旋轉(zhuǎn)，放在工件盤內(nèi)的光學(xué)元件在瀝青拋光盤及其承載的拋光顆粒作用下產(chǎn)生材料去除從而形成光學(xué)表面。但是瀝青拋光盤是粘彈性材料，在壓力作用下產(chǎn)生蠕變變形，難以承受修正盤、工件盤和光學(xué)元件的高壓和高速運(yùn)動(dòng)。因此，在實(shí)際拋光時(shí)，拋光盤、工件盤和光學(xué)元件的轉(zhuǎn)速處于較低水平，使得光學(xué)元件的材料去除速度較低，從而影響了環(huán)形拋光的加工效率。因此，如何提供一種加工效率高的環(huán)形拋光設(shè)備是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
有鑒于此，本技術(shù)提供了一種高頻振動(dòng)加工裝置，提高了光學(xué)元件的材料去除效率。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本技術(shù)采用如下技術(shù)方案：一種高頻振動(dòng)加工裝置，包括工件盤、固定架、高頻振動(dòng)器及工件把持架；工件盤中部開設(shè)有工件孔；固定架固定于工件盤上；高頻振動(dòng)器固定于固定架上；工件把持架與工件孔位置對應(yīng)，其頂端通過連接桿與高頻振動(dòng)器連接，其底端用于把持位于工件孔內(nèi)的光學(xué)元件。經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)公開提供了一種高頻振動(dòng)加工裝置，由于高頻振動(dòng)加工裝置上具有高頻振動(dòng)器，在元件旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，帶動(dòng)元件在其徑向上進(jìn)行高頻振動(dòng)，...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種高頻振動(dòng)加工裝置，其特征在于，包括工件盤(1)、固定架、高頻振動(dòng)器(6)及工件把持架(8)；所述工件盤(1)中部開設(shè)有工件孔(2)；所述固定架固定于所述工件盤(1)上；所述高頻振動(dòng)器(6)固定于所述固定架上；所述工件把持架(8)與所述工件孔(2)位置對應(yīng)，其頂端通過連接桿(7)與所述高頻振動(dòng)器(6)連接，其底端用于把持位于所述工件孔(2)內(nèi)的光學(xué)元件。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種高頻振動(dòng)加工裝置，其特征在于，包括工件盤(1)、固定架、高頻振動(dòng)器(6)及工件把持架(8)；所述工件盤(1)中部開設(shè)有工件孔(2)；所述固定架固定于所述工件盤(1)上；所述高頻振動(dòng)器(6)固定于所述固定架上；所述工件把持架(8)與所述工件孔(2)位置對應(yīng)，其頂端通過連接桿(7)與所述高頻振動(dòng)器(6)連接，其底端用于把持位于所述工件孔(2)內(nèi)的光學(xué)元件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高頻振動(dòng)加工裝置，其特征在于，所述高頻振動(dòng)器(6)振動(dòng)頻率為1Hz-100Hz；振幅范圍為1mm-20mm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高頻振動(dòng)加工裝置，其特征在于，所述工件孔(2)為臺階孔，臺階孔包括上段孔(21)和下段孔(22)；所述上段孔(21)直徑大于所述下段孔(22)直徑形成臺階。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種高頻振動(dòng)加工裝置，其特征在于，所述固定架包括：環(huán)形固定板(3)、兩根立柱(4)和一根橫梁(5)；所述環(huán)形固定板(3)固定于所述...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：廖德鋒，許喬，張清華，侯晶，趙世杰，謝瑞清，陳賢華，王健，
申請(專利權(quán))人：中國工程物理研究院激光聚變研究中心，
類型：新型
國別省市：四川,51