國內(nèi)成功案例：半導體芯片廢氣處理技術(shù)
芯片廢氣處理技術(shù)的成功案例可以從多個方面進行總結(jié)，包括廢氣處理工藝、設(shè)備應(yīng)用以及實際運行效果等。以下是基于我搜索到的資料整理出的詳細信息：
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1.廢氣處理工藝的成功案例
濕式洗滌塔技術(shù)：上海市編制的《半導體行業(yè)污染物排放標準》中提到，酸堿廢氣處理通常采用濕式洗滌塔技術(shù)，通過吸收劑與廢氣接觸發(fā)生物理或化學反應(yīng)，去除廢氣中的酸性物質(zhì)及氣態(tài)污染物。等離子體燃燒濕式尾氣處理系統(tǒng)（LSC）：南京寬能半導體有限公司采用的處理工藝包括等離子體燃燒濕式尾氣處理器、酸性廢氣噴淋塔和活性炭吸附，廢氣處理后達到《排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范》的要求。沸石轉(zhuǎn)輪吸附+TO焚燒系統(tǒng)：重慶萬國半導體科技有限公司在芯片廠房1和封測廠房1中分別采用了沸石轉(zhuǎn)輪吸附+TO焚燒系統(tǒng)和活性炭吸附工藝，用于處理有機廢氣和含砷廢氣。堿液噴淋技術(shù)：南昌凱迅光電科技有限公司在酸堿廢氣處理中采用堿液噴淋技術(shù)，通過中和反應(yīng)去除氮氧化物、氯化氫等污染物，并通過引風管道進入凈化塔處理。2.設(shè)備應(yīng)用的成功案例
北京某自動化裝備技術(shù)股份有限公司：該公司是國內(nèi)少數(shù)實現(xiàn)半導體專用工藝廢氣處理設(shè)備規(guī)模裝機應(yīng)用的企業(yè)，其產(chǎn)品包括燃燒水洗式和等離子水洗式廢氣處理器，廣泛應(yīng)用于90nm到28nm邏輯芯片以及64層到192層3D NAND存儲芯片的制造中。其設(shè)備技術(shù)水平國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進。廈門某電子有限公司：該公司在12英寸特色工藝半導體芯片制造生產(chǎn)線項目中，新增了兩套破氰廢水處理設(shè)施，并結(jié)合現(xiàn)有廢氣治理設(shè)施，確保廢氣達標排放。3.實際運行效果的成功案例
南京某半導體芯片研發(fā)生產(chǎn)項目：該項目采用廢氣洗滌塔（堿液吸收）處理酸性廢氣，凈化效率達70%~95%，并通過25米排氣筒達標排放。江門市某電子科技有限公司：該公司采用分子篩吸附法處理VOCs廢氣，結(jié)合催化燃燒技術(shù)，實現(xiàn)了低濃度、大風量廢氣的高效凈化。半導體有限公司：其芯片制造生產(chǎn)線通過吸風裝置收集廢氣，并采用二級噴淋塔、堿液噴淋凈化和活性炭去除等措施，最終廢氣通過不同高度的排氣筒達標排放。4.綜合評價
從上述案例可以看出，芯片廢氣處理技術(shù)的成功關(guān)鍵在于：
針對性強的工藝選擇：如濕式洗滌塔、等離子體燃燒濕式尾氣處理器、沸石轉(zhuǎn)輪吸附+TO焚燒系統(tǒng)等，能夠有效去除酸堿廢氣、有機廢氣及含砷廢氣。設(shè)備的先進性和可靠性：如北京京儀自動化裝備技術(shù)股份有限公司的燃燒水洗式和等離子水洗式廢氣處理器，以及廈門士蘭集科微電子有限公司的廢水和廢氣治理設(shè)施。嚴格的環(huán)保監(jiān)管和執(zhí)行：各項目均嚴格按照相關(guān)環(huán)保法規(guī)和技術(shù)規(guī)范進行設(shè)計和運行，確保廢氣達標排放。這些成功案例表明，通過科學合理的工藝選擇和設(shè)備應(yīng)用，芯片廢氣處理技術(shù)能夠有效解決生產(chǎn)過程中的環(huán)境問題，同時滿足嚴格的環(huán)保要求。
